主要規(guī)格及技術(shù)參數(shù)

2.1 鍍膜室尺寸: (寬*深*高) 800MM*800MM*860MM

2.2 極限壓力: ≤3*10-4pa

2.3 恢復(fù)真空抽氣時(shí)間: ≤15min

2.4 鍍膜室升壓率: ≤0.8Pa/h

2.5 蒸發(fā)源:

磁偏轉(zhuǎn)e型電子槍 QE6-20/4B (光偶定位)1套

功率: 6KW

2.6 射頻轟擊: 功率1000W

2.7 工件架: 公自轉(zhuǎn)夾具

2.8 工件旋轉(zhuǎn): (5-25)r/min 轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)

2.9 烘烤: 碘鎢燈烘烤，烘烤溫度≤300℃

2.10 真空系統(tǒng):

a)K-600A 擴(kuò)散泵(氟里昂冷阱，制冷單元用戶自備)

b)ZJY-150A 羅茨泵

c)2X-70 真空泵

d)2X-15 真空泵

2.11膜厚控制:預(yù)留安裝孔

2.12水路: 采用標(biāo)準(zhǔn)城市飲用水或質(zhì)量相當(dāng)?shù)乃?，進(jìn)水溫度不高于25℃，水壓不小于(2-2.5)* Pa

2.13 壓縮空氣: 清潔干燥氣體，壓力(5-7)* Pa

2.14 總工率: ~36KW 三相四線制380VAC 50HZ

3. 結(jié)構(gòu)說(shuō)明

3.1 本設(shè)備由下列部分組成

a)ZZSX-800E 主機(jī) 1臺(tái)

b)真空操作柜 1套

c)DEF-6H 電子槍電源柜 1臺(tái)

主機(jī)由機(jī)架，鍍膜室，真空系統(tǒng)組成.

3.2 機(jī)架為長(zhǎng)方體，架體由鋼板和型材焊接組成.鍍膜室裝在機(jī)架上面，水冷單元和氣動(dòng)控制部分安裝在機(jī)架后方.

3.3 鍍膜室為立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，全不銹鋼材料制作，內(nèi)表面拋光處理，外表面噴丸處理.鍍膜室和門(mén)外壁焊有冷卻水道.門(mén)上有兩面?zhèn)€觀察窗，下側(cè)觀察窗內(nèi)裝有活動(dòng)擋板，硬質(zhì)玻璃外面有一層鉛玻璃以防X射線的輻射，里面為一層保護(hù)玻璃用彈簧卡圈固定，污染后可隨時(shí)將其拆下清洗后再裝上.外部裝有暗色玻璃以保護(hù)眼睛.鍍膜室底板上裝有電子槍，氣動(dòng)擋板機(jī)構(gòu)，碘鎢燈烘烤裝置以及備用孔.工作旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)由頂部引入，鍍膜室內(nèi)壁有可拆卸的不銹鋼屏蔽板，便于清理膜屑.真空測(cè)量的規(guī)頭既可裝在鍍膜定頂部也可裝在高閥上.

3.4真空系統(tǒng)由擴(kuò)散泵，冷阱，高閥，前級(jí)閥，預(yù)抽閥，旁路閥，羅茨泵.前級(jí)泵，維持泵以及真空管道組成，手動(dòng)操作.

3.5 電子槍以及相應(yīng)的操作柜，請(qǐng)參照各自的使用說(shuō)明書(shū).

3.6電子柜是標(biāo)準(zhǔn)19英寸機(jī)架.它由真空控制，旋轉(zhuǎn)控制及轟擊控制等部分組成，各閥門(mén)控制是交流220V.真空操作為手動(dòng)控制方式.

3.6.1 真空控制:采用按鍵開(kāi)關(guān)和繼電器作為控制元件.

3.6.2 旋轉(zhuǎn)控制:采用變頻調(diào)速器，實(shí)現(xiàn)工件架的無(wú)級(jí)調(diào)速，接通旋轉(zhuǎn)電源，調(diào)節(jié)變頻調(diào)速器，工件架平穩(wěn)起動(dòng)達(dá)到需要的轉(zhuǎn)速停止.工作完畢關(guān)閉旋轉(zhuǎn)電源.