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1.用于半導(dǎo)體工業(yè)真空泵油，得到世界著名真空泵制造商，如萊寶Leybold、愛(ài)德華Edwards。
2.尤其半導(dǎo)體芯片加工過(guò)程中的蝕刻和沉淀過(guò)程特種氣體處理。
3.其他特種氣體行業(yè)真空系統(tǒng)泵浦中。

 化學(xué)性能非常穩(wěn)定，耐強(qiáng)酸，包括極強(qiáng)的路易氏酸，耐強(qiáng)堿。與接觸的任何特種氣體如氟氣，強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)，強(qiáng)氧化劑，還原劑均不發(fā)生反應(yīng)
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