化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。

化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品型號(hào)/規(guī)格W×H×L(mm)

600*600*1000

800*800*1200

1000*1000*1500

1200*1200*2500

1500*1500*3000

2500*2000*3600

裝載重量(KG)

350

800

1500

2500

5000

10000

最高溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

1500

溫度均勻性(℃)

±7.5

±7.5

±7.5

±10

±10

±15

加熱功率(kw)

250

360

480

600

900

1200

極限真空度(Pa)

20

20

20

20

20

20

壓升率(Pa/h)

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

0.67

以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

化學(xué)氣相沉積爐主要配置

u  爐門：絲杠升降//液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊

u  爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

u  爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC

u  加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨