牛津儀器CMI760、CMI500專用的孔銅標(biāo)準(zhǔn)片

ETP孔銅探頭參數(shù)：

l 準(zhǔn)確度：5%，參考標(biāo)準(zhǔn)片

l 精確度：1.2 mil 時，1.0% （典型情況下）

l 分辨率：0.01 mils (0.25 μm)

l 電渦流：遵守ASTM E37696 標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定

l 測量厚度范圍：2——102μm （0.08 —— 4.0 mils）

l 孔最小直徑：Φ35 mils (Φ899 μm)

l 孔徑范圍：Φ0.899 mm——Φ3.0 mm

l 工作特點(diǎn)：應(yīng)用電渦流測試技術(shù)。測量時利用探頭釋放出電磁波，當(dāng)磁場切割金屬層時會發(fā)生磁場變化，通過計算此變化量計算出孔壁銅厚度。測量不受板內(nèi)層影響，即使是雙層板或多層板，甚至在有錫或錫/鉛保護(hù)層的情況下，同樣能夠良好工作。另外，探頭采用溫度補(bǔ)償技術(shù)，即使是剛從電鍍槽內(nèi)取出的板，也能測量孔銅厚度。