頂針／大力針／ＢＧＡ探針／梅花頭探針／平頭探針／ＦＣＴ本發(fā)明涉及一種測(cè)試探針裝置及其制造方法，尤其是一種構(gòu)造簡單、制作容易、檢查時(shí)無接觸抵抗，可以提高檢查可靠性的測(cè)試探針裝置及其制造方法，其特征在于：在前述探針裝置的上側(cè)安裝了具有可以接觸被測(cè)物的接觸端子的探針部位，前述探針部位下端延伸出可以提供彈性力的彈簧部位并與其成為一體，使電流從被測(cè)物通到前述彈簧部位的下側(cè)。本發(fā)明的探針部位的下側(cè)與彈簧部位成為一體，構(gòu)造簡單，制作容易，量測(cè)電流從探針部位直接進(jìn)入彈簧部位而消除接觸抵抗，信號(hào)路徑短而提高檢查可靠性。