PECVD裝片房
PECVD裝片房用途規(guī)格：

?   能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位

?   能夠使用石墨舟承載車在里面傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度

?    配置經(jīng)中效、高效過濾器過濾后的凈化空氣根據(jù)要求定時向機(jī)內(nèi)循環(huán)吹風(fēng)

PECVD裝片房技術(shù)要求：

?    整個冷卻房采用不銹鋼制作，保證整個設(shè)備堅固可靠

?    節(jié)電效果，小車進(jìn)入后自動啟動吹風(fēng)，冷卻到規(guī)定時間或小車離開自動停止吹風(fēng)

?    為防止被小車撞擊后移動，減震地腳選用能安裝膨脹螺釘?shù)牡啬_