半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的干式排氣處理中廣泛使用椰殼活性炭的主要原因，有如下七點(diǎn)：
　　(1)化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定
　　(2)價(jià)格便宜
　　(3)有活性力
　　(4)比表面積大
　　(5)供給穩(wěn)定
　　(6)安全性好
　　(7)比重比較輕
　　干式排氣處理方式有兩種．一種是利用具有這些優(yōu)點(diǎn)的椰殼活性炭本身的吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的方式；另一種是利用通過(guò)添加成分提高了吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的機(jī)能性椰殼活性炭的方式。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中一般使用成型椰殼活性炭及破碎狀顆?；钚蕴?，幾乎不使用蜂巢狀活性炭及其他考慮壓力損失等的特殊形狀的椰殼活性炭。這是因?yàn)椋褂玫陌雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的氣體中，特別是需要處理的氣體，大多數(shù)是無(wú)機(jī)系的氣體，無(wú)論是進(jìn)行吸附反應(yīng)還是進(jìn)行觸媒反應(yīng)，無(wú)機(jī)反應(yīng)產(chǎn)物都附著在椰殼活性炭表面上，總表面積等比壓力損失更加重要的緣故。
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