首先是硅酸鹽陶瓷。硅酸鹽陶瓷是一種傳統(tǒng)且最常見的陶瓷，它在真空系統(tǒng)中常用的又有硬瓷、鎂鋁硅酸鹽陶瓷、鋯石陶瓷等種類。其中硬瓷密度高、抗熱沖擊能力好、熔體易加工，能制成較大的結(jié)構(gòu)件。而鎂鋁硅酸鹽陶瓷則常用于真空系統(tǒng)內(nèi)部的絕緣零件，氣密性好，能與鈦、鎳合金匹配封接，工作溫度可達(dá)900℃。鋯石陶瓷具有良好的抗熱震性、耐酸性、化學(xué)穩(wěn)定性，但耐堿性不佳，等等。